NEXIV VMZ-K Serie "Confocal"
Multifunktionales, konfokales Video-Messsystem
Die Nikon NEXIV VMZ-K Serie ist ein bahnbrechendes Videomesssystem, das Konfokal-, Hellfeld- und TTL Laser Technologie in einem System kombiniert. Diese Produktserie ist optimal für die schnelle und hochpräzise Auswertung und Prüfung von feinen 2D- uind 3D-Geometrien.
Die Nikon NEXIV VMZ-K Serie eignet sich optimal für die Inspektion präziser 3D-geformter Proben oder Proben mit unzähligen Messpunkten, wie z.B. Micro-Bumps, Schaltkreismuster (circuit patterns), Wire-Bonding und Probecards.
Spezifikationen
| Model | VMZ-K3040 Type-S | VMZ-K3040 Type-H | VMZ-K6555 Type-S | VMZ-K6555 Type-H | ||||||
| Standard | Hohe Vergrößerung | Standard | Hohe Vergrößerung | |||||||
| Spezifikationen - Objektive | ||||||||||
| Vergrößerung | 1.5x | 3x | 7.5x | 15x | 30x | 1.5x | 3x | 7.5x | 15x | 30x |
| Arbeitsabstand | 24 mm | 24 mm | 5 mm | 20 mm | 5 mm | 24 mm | 24 mm | 5 mm | 20 mm | 5 mm |
Gesichtsfeld - MAX [mm] | 8x6 | 4x3 | 1.6x1.2 | 1.26x0.95 | 0.63x0.47 | 8x6 | 4x3 | 1.6x1.2 | 1.26x0.95 | 0.63x0.47 |
Gesichtsfeld - MIN [mm] | 0.53x0.4 | 0.27x0.2 | 0.11x0.08 | 0.1x0.074 | 0.05x0.04 | 0.53x0.4 | 0.27x0.2 | 0.11x0.08 | 0.1x0.074 | 0.05x0.04 |
| Spezifikationen - Konfokale Optik | ||||||||||
| Maximale Scanhöhe | 1 mm | |||||||||
| Gesichtsfeld / FOV [mm] | 8 x 6 | 4 x 3 | 1.6 x 1.2 | 0.8 x 0.6 | 0.4 x 0.3 | 8 x 6 | 4 x 3 | 1.6 x 1.2 | 0.8 x 0.6 | 0.4 x 0.3 |
| Wiederholgenauigkeit | 0.6 µm | 0.35 µm | 0.25 µm | 0.25 µm | 0.2 µm | 0.6 µm | 0.35 µm | 0.25 µm | 0.25 µm | 0.2 µm |
Z-Auflösung (Höhe) | 0.01 µm | |||||||||
| Beleuchtung | Durchlicht, coaxiales Auflicht, Ringlicht | Durchlicht, coaxiales Auflicht | Durchlicht, coaxiales Auflicht, Ringlicht | Durchlicht & coaxiales Auflicht | ||||||
| Lichtquelle | LED, Weiß | |||||||||
| Autofokus | Vision Autofokus & TTL Laser Autofokus | |||||||||
| Spezifikationen - Grundsystem | ||||||||||
| Verfahrwege XYZ | 300mm x 400mm x 150mm | 650mm x 550mm x 150mm | ||||||||
| Garant. Ladekapazität | 20kg | 30kg | ||||||||
| Max. Abweichung | Eux, MPE Euy, MPE: 1.5 + 4L/1000µm | Eux, MPE Euy, MPE: 2.5 + 4L/1000µm | ||||||||
| Euxy, MPE: 2.5 + 4L/1000µm | Euxy, MPE: 2.5 + 2.5L/1000µm | |||||||||
| Euz, MPE: 1+ L/1000µm | Euz, MPE: 1+ L/1000µm | |||||||||
| Stromquelle | AC 100-240V +/- 10% 50/60z | |||||||||
| Verbrauch | 10A - 5A | |||||||||
| Temperatur: 20° +/- 0.5K, Luftfeuchtigkeit: 70% oder weniger | ||||||||||
| Standards/Normen | CE - Low Voltage / EMC / Laser | |||||||||
| Abmessungen - Gerät + Tisch | 1130 x 1250 x 1970 mm / ca. 800kg | 1220 x 1600 x 1970 mm / ca. 800kg | ||||||||
| Abmessungen - Controller | 190 x 450x 440 mm / 20kg | |||||||||
| Installationsfläche(BxT) | 2500 x 1600 mm | 2500 x 1900 mm | ||||||||
