NEXIV VMZ-S Serie "High Speed & Accuracy"

Genauigkeit - Geschwindigkeit - Benutzerfreundlichkeit

Die neue hochpräzise Nikon NEXIV VMZ-S Messmaschinen - Serie ist die Weiterentwicklung der bewährten NEXIV VMZ-R Serie. Durch die Verbesserung aller beteiligten Baugruppen wie Kamerasystem, Wegmesssysteme, Bildübertragung, uvm., konnten bei gleichbleibend hoher Mess- und Wiederholgenauigkeit die Messzyklen um über 30 % gesteigert werden.

Das System ist ideal für die Vermessung und Inspektion einer Vielzahl von mechanischen und elektronischen Bauteilen, sowie Form-, Guss- und Stanzteilen innerhalb des Messvolumens. Die Weiterentwicklung des TTL-Laser-Autofokus ermöglicht eine Wiederholgenauigkeit von 0,5µm um Höhen und z-Profile höchster Präzision zu vermessen, sowie mit 1000 Punkten pro Sekunde zu Scannen. Zusätzlich wurde auch noch an der Bedienerfreundlichkeit verbessert und der Joystick komplett neu konzipiert. Ein neuer Assistent zur Messprogrammerstellung löst die Messaufgaben noch einfacher und schneller.

Hauptmerkmale

6 Systemausführungen für jede System-Baugröße

Es stehen insgesamt 6 Systemausführungen für jede Baugröße der VMZ-S Serie zur Verfügung, die unterschiedliche Sichtfelder und Auflösungsanforderungen abdecken. Typ 1, 2 und 3 liefern ein klares, verzerrungsarmes Bild mit hoher numerischer Apertur. Typ 4 und TZ sind für hohe Vergrößerungen ausgelegt und Typ A für niedrige Vergrößerungen und hohem Arbeitsabstand.  

 

Präzise Hochgeschwindigkeits - Höhenmessung

Die Hochgeschwindigkeits-Höhenmessung wird durch einen Laser-Autofokus direkt durch das Objektiv ermöglicht. Die Abtastgeschwindigkeit liegt bei 1.000 Punkten pro Sekunde.

 

8-Segment Ringlichtbeleuchtung mit drei Einfallswinkeln

Mit den drei verschiedenen Einfallswinkeln des verbauten Ringlichtes, kann die VMZ-S auch bei schwierigen Proben die Kanten problemlos und präzise erkennen und vermessen. Alle Beleuchtungen sind mit Weißlicht-LEDs ausgestattet und bieten Stabilität und eine lange Lebensdauer.

 

Erkennung von transparenten 0,1mm transparenter Schicht

Der TTL Laser Autofokus wurde für die Erkennung von dünnen, transparenten Schichten entwickelt und bietet zuverlässige Messungen bei hoher Geschwindigkeit

 

Automatische Non-Stop-Messung

Trotz unterschiedlicher Positionierung der Bauteile kann eine genaue Messung durchgeführt werden.

Spezifikationen

 

Nexiv VMZ-S 3020

Nexiv VMZ-S 4540

Nexiv VMZ-S 6555

Verfahrwege (X x Y x Z)

Typ 1,2,3,4,A

   300 x 200 x 200 mm

Typ TZ mit niedrig.Vergrößerung

   250 x 200 x 200 mm

Typ 1,2,3,4,A

   450 x 400 x 200 mm

Typ TZ mit niedrig.Vergrößerung

   400 x 400 x 200 mm

Typ 1,2,3,4,A

   650 x 550 x 200 mm

Typ TZ mit niedrig.Vergrößerung

   600 x 550 x 200 mm

Messsystemauflösung

0.01 µm

Max. Probengewicht (garant. Genauigkeit)

20 kg (5 kg)

40 kg (20 kg)

50 kg (30 kg)

Max. zulässige Abweichung (MPE)
(L = Länge in mm)

EUX, MPE EUY, MPE 1.2 + 4L / 1000 µm
EUXY, MPE 2.0 + 4L / 1000 µm
EUZ, MPE1.2 + 5L / 1000 µm

Sondierungsfehler 1),2): MPE PF2D 0,8 µm
Antastfehler der bildgebenden Sonde 1),2): MPE PFV2D 0.3 µm

Kamera

Schwarz & Weiß 1/3" CCD oder Farbe 1/3" (Option)

Arbeitsabstand

Typ 1,2 und 3: 50mm
Typ 4: 30mm
Typ TZ: (Hohe Vergr.) 11 mm / (Niedrige Vergr.) 32 mm
Typ A: 73,5 mm (63 mm mit Laser AF)

Laser AF Wiederholgenauigkeit Bereich 1),3)

2σ ≦ 0.5 µm

Beleuchtung

Typ 1, 2, 3, und 4 : Auflicht-, Durchlicht- und 8-segmentige Ringbeleuchtung mit 3 Einfallswinkeln (Typ 4 hat nur 1 Winkel)
Typ TZ: Objektiv links: Auflicht, Dunkelfeld ; Objektiv rechts: Auflicht, Durchlicht, Dunkelfeld
Typ A: Auflicht-, Durchlicht- und 8-segmentige Ringbeleuchtung mit 1 Einfallswinkel

Stromquelle

AC100 V-240 V, 50/60 Hz / 4 A − 2 A

Grundgerät (BxTxH+kg)

700 x 730 x 1793 mm

ca. 265 kg

1000 x 1340 x 1818 mm

ca. 510 kg

1200 x 1640 x 1818 mm

ca. 740 kg

Controller (BxTxH+kg)

190 x 450 x 450 mm

ca. 12 kg

Stellfläche (BxT)

2700 x 2400 mm

3000 x 3000 mm

3200 x 3300 mm

 

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